當大氣電暈的電場頻率超過1GHz時，電暈處理對絲網(wǎng)印刷的作用就屬于微波放電，簡稱MW放電。常用的微波放電頻率為2450MHz。。常壓電暈表面處理技術(shù)在微電子工業(yè)中的應(yīng)用；目前，常壓電暈表面處理技術(shù)已逐漸成為微電子工業(yè)生產(chǎn)加工中不可缺少的技術(shù)。

電暈電暈不放電或放電不穩(wěn)定，電暈處理機功率簡稱常出現(xiàn)電暈發(fā)生器阻抗不穩(wěn)定的情況。電暈發(fā)生器在傳輸能量時，如果反應(yīng)室和電極的阻抗（以下簡稱負載）不等于傳輸線的特征阻抗，則在傳輸過程中會發(fā)生反射，部分能量會被加熱損失，而不是全部能量被電暈的負載吸收，直接影響電暈表面處理的效果。

電暈發(fā)生器在傳輸能量時，電暈處理機功率簡稱如果反應(yīng)室和電極的阻抗（以下簡稱負載）不等于傳輸線的特性阻抗，則在傳輸過程中會發(fā)生反射，部分能量會被加熱損失，而不是全部能量被真空電暈設(shè)備的負載吸收，直接影響電暈表面處理的效果。

激勵源是為氣體放電提供能量的電源，電暈處理機功率簡稱可以采用不同的頻率；真空泵的主要作用是清除副產(chǎn)物，包括旋片機械泵或增壓泵；以及在真空室中具有放電電離的電極。反應(yīng)氣體轉(zhuǎn)化為電暈，反應(yīng)氣體通常由氬氣、氧氣、氫氣、氮氣、四氯化碳等單一氣體，或兩種氣體的混合物組成。電暈清潔器的使用取決于許多因素，包括化學性質(zhì)、工藝參數(shù)、功率、時間、元件放置和電極結(jié)構(gòu)的選擇。

電暈處理機功率簡稱

電暈強化制備催化劑是在常規(guī)催化劑高溫煅燒前，通過對催化劑進行表面處理和改性，提高催化劑的反應(yīng)活性。催化劑在化工生產(chǎn)中起著重要的作用，尤其是負載型催化劑。大多數(shù)化學反應(yīng)需要催化劑的參與才能順利進行。催化劑的活性、選擇性和穩(wěn)定性取決于催化反應(yīng)中活性組分的分散度、化學狀態(tài)、表面含量以及與載體的相互作用。利用電暈射頻電源進行電暈表面處理，可以改變金屬活性組分的價態(tài)，實現(xiàn)催化劑還原。

待電離電子密度足夠大時，可產(chǎn)生大面積輝光放電，使初始雪崩頭相互重疊合并，切向空間電荷電場梯度相對較低。在殘余氣體中，氣體純度、氣體附著力、亞穩(wěn)性、電子和離子對氣體的電離強度有很大影響。循環(huán)前半段的殘余粒子，即除了電介質(zhì)表面的記憶電荷外，適當?shù)姆烹婎l率也能在整個放電體積中起到記憶作用。此外，具有特殊性質(zhì)的介質(zhì)也有利于大面積均勻電暈的產(chǎn)生。電介質(zhì)表面可以積聚大量的電荷。

德拜球外的庫侖勢可以忽略不計。德拜長度的物理意義引用如下：（1）電暈對作用于其上的電位有屏蔽作用，屏蔽半徑為德拜長度；(2)Debye長度是電暈電中性的一個小空間尺度，當r>&λ時；D、電暈為電中性；(3)Debye長度是電暈宏觀空間尺度的下限，即電暈存在的空間尺度L>>&λ；D.。氣體的種類對電暈的狀態(tài)起決定性作用，直接影響電暈對高分子材料表面改性的方式和結(jié)果。

常壓下的電弧放電電暈和高頻感應(yīng)電暈。非平衡電暈：在低壓或常壓下電子溫度遠高于氣體溫度的電暈。如低壓下的直流輝光放電和高頻感應(yīng)輝光放電，大氣壓下的DBD介質(zhì)阻擋放電等。。一是表面清潔：清潔金屬表面的油脂，以及肉眼看不見的油粒等有機物和氧化層。二是表面蝕刻：在處理氣體的作用下，被蝕刻的材料會變成氣相放電。三是表面改性：以聚四氟乙烯(PTFE)為例，未經(jīng)處理就不能印刷或粘合。

電暈處理機功率簡稱

如果供給能量，電暈處理對絲網(wǎng)印刷的作用物質(zhì)的狀態(tài)就會改變：從固體變成液體，再從液體變成氣體。如果向氣體提供更多的能量，氣體就會電離，進入高能電暈態(tài)，這是物質(zhì)的第四態(tài)。1928年IrvingLangmuir首次發(fā)現(xiàn)了電暈。血漿并不少見：事實上，它相當普遍。宇宙中99%以上的可見物質(zhì)處于電暈狀態(tài)。在地球上可以觀測到的電暈的自然形式是閃電，或者南北極的極光。

電暈處理對聚合物表面的作用，電暈處理機功率簡稱如交聯(lián)、化學改性、腐蝕等，主要是由于電暈的作用，使聚合物表面分子產(chǎn)生大量自由基。結(jié)果表明：隨著電暈處理時間的延長，放電功率增大，自由基強度增大，達到較大值，進入動態(tài)平衡狀態(tài)；當放電壓力達到一定值時，自由基強度會有較大值，即在一定條件下，低溫電暈在聚合物表面反應(yīng)較深。