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1、真空室及真空系統(tǒng)真空室固定在柜體框架上，安徽實驗室等離子清洗機廠家電話柜體框架尺寸為1722X1060X1840，左右是可拆卸門，后面是兩個相對的門，所以內部維護真空室和真空系統(tǒng)很方便。真空室尺寸為600X600X600，可同時加工9層550X550尺寸的工件。真空室和真空閥固定在框架上。外置低真空泵和羅茨真空泵，連接真空泵的電磁補油閥，變頻器控制真空泵轉速，閉環(huán)控制保持真空室動態(tài)平衡，真空室內真空度在正常工作范圍。
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等離子表面清洗技術在IC封裝領域內的應用將越來越廣泛，并以其優(yōu)良的性能變成21世紀IC封裝領域內關鍵生產裝置，變成大規(guī)模生產環(huán)節(jié)中提高產品成品率及可靠性的重要工序措施，未來必然不可或缺。。plasma是一種包含原子、分子、離子亞穩(wěn)態(tài)和激發(fā)態(tài)的全部或部分離子氣態(tài)物質，而且電子、正離子與負離子含量大致相同。具有較高的物質能量，容易與其它物質發(fā)生物理、化學、生理反應。
這顯著改變了材料的表面形態(tài)并引入了各種含氧基團，將表面從非常難以粘附的表面改變?yōu)樘囟O性。易于涂抹和親水。適用于膠合、涂層和印刷。材料的等離子表面處理技術具有以下效果： 1.活性：大大提高潤濕性，形成活性表面； 2.清潔：去除污垢和油污，精細清潔去除靜電； 3.涂層：表面涂層工藝提供功能性表面，提高表面附著能力，提高表面附著可靠性和耐久性。
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