等離子蝕刻機(jī)的一般用途是：半導(dǎo)體/集成電路；氮化硅；氮化鋁鎵/氮化硅；氫化鎵/氫化鋁鎵；氫氧化鎵；InP InGaAs / InAlAs；硅；硅鍺；硅氮化硅陶瓷（Si3N4）；溴化硅；溴化氫；硅硒 (ZnSe)；金屬；鋁；鉻；鉑；鉬；鈮；鉭；鈦；鎢；電介質(zhì)；銦錫氧化物；鋯鈦 (PZT)；碳化硅；塑料/聚合物；聚四氟乙烯 (PTFE)；聚甲醛 (POM ); 聚苯并咪唑 (PBI); 聚醚醚酮 (PEEK); 聚酰亞胺 (Polyamide); 聚酰胺 (Nylon); 全氟烷氧基烷烴 (PFA) 聚全氟乙烯丙烯 (FEP); 聚烯烴; 聚酯等。

損壞；使用各向異性蝕刻時(shí)兩種工藝中的 CD 損失（例如，鈦 親水性由于 C4F8 / Ar 用于氧化硅蝕刻，Cl2 / N2 用于氮化鈦蝕刻，低壓、高偏置功率）、氮化鈦 兩種輪廓形狀都非常出色，副作用是基材損失嚴(yán)重。在去除有機(jī)襯底材料之后，各向異性氧化硅蝕刻去除溝槽上方和下方的膜，在側(cè)壁上留下殘留物，尤其是在角落。

損壞；使用各向異性蝕刻時(shí)兩種工藝中的 CD 損失（例如，六鋁四釩鈦 親水性由于 C4F8 / Ar 用于氧化硅蝕刻，Cl2 / N2 用于氮化鈦蝕刻，低壓、高偏置功率）、氮化鈦 兩種輪廓形狀都非常出色，副作用是基材損失嚴(yán)重。在去除有機(jī)襯底材料之后，各向異性氧化硅蝕刻去除溝槽上方和下方的膜，在側(cè)壁上留下殘留物，尤其是在角落。

ZHOU等人以介質(zhì)阻擋放電的形式實(shí)現(xiàn)了二氧化碳復(fù)合CH4反應(yīng)。當(dāng)注入能量為87KW.H/(N·M3)時(shí)，六鋁四釩鈦 親水性甲烷轉(zhuǎn)化率為64%，碳轉(zhuǎn)化率為64%。二氧化碳為54%。 GALLON 等人和 PINHAO 等人分別研究了在 DBD 放電等離子清洗機(jī)作用下 CH4 和二氧化碳的復(fù)合反應(yīng)。討論的結(jié)果是，重組反應(yīng)的主要產(chǎn)物是合成氣，它是少量的碳?xì)浠衔铮ㄖ饕?C2H6）。

二氧化鈦 親水性好的意義

等離子設(shè)備在油脂和污垢方面具有出色的優(yōu)勢(shì)。等離子設(shè)備對(duì)設(shè)備的油脂和污垢的影響類似于油脂和污垢的燃燒，但在低溫下的燃燒不同。氧等離子體裝置中氧原子自由基的聯(lián)合作用將油分子氧化成水和二氧化碳分子，從而去除油接觸表面。可以看出，利用等離子裝置去除（去除）油污的步驟，就是將有機(jī)大分子逐漸分解，生成水、二氧化碳等小分子，并以氣體的形式去除的步驟。 等離子設(shè)備設(shè)備清洗的另一個(gè)特點(diǎn)是清洗后物體完全干燥。

環(huán)氧乙烷是一種有毒的，公認(rèn)的致癌物，除非需要工作醫(yī)院除了安全培訓(xùn)和防護(hù)服外，還需要安裝昂貴的檢測(cè)、通風(fēng)和通風(fēng)設(shè)備;消毒過(guò)的儀器需要在空氣中長(zhǎng)時(shí)間清洗，清除表面殘留的環(huán)氧乙烷，這迫使醫(yī)院擁有大型和昂貴的存儲(chǔ)設(shè)備，以適應(yīng)滅菌周期;此外，由于環(huán)氧乙烷是爆炸性的，它必須與二氧化碳和氟利昂阻燃劑混合。盡管有這些缺點(diǎn)，直到最近，沒(méi)有合適的替代低溫滅菌已被發(fā)現(xiàn)。

三、常壓等離子清洗機(jī)在其他行業(yè)的應(yīng)用等離子清洗機(jī)運(yùn)用的范圍廣泛，像金屬、玻璃、陶瓷、紡織、塑膠等等行業(yè)都是會(huì)涉及到，原材料的印刷、涂鍍、涂層前處理都可能會(huì)需要用到等離子清洗機(jī)。等離子清洗技術(shù)，是一種在表面清理污染物的同時(shí)還對(duì)材料表面進(jìn)行改性的高新技術(shù)，是主要作用于提高材料表面的親水性、粘接力和附著力。

適當(dāng)時(shí)使用低溫等離子體表面處理設(shè)備清洗聚乙烯、PP聚丙烯、PVF2、低密度聚乙烯等材料的加工工藝，提高了材料的表面性能，添加了多種O2官能團(tuán)，使表面從無(wú)極性、難粘成相應(yīng)的正負(fù)極性，粘度和親水性好，有利于粘接、涂布和印刷。。很多汽車的輸油管道都是用橡膠管做的，橡膠管是用三元乙丙橡膠制成的。EPDM橡膠管的優(yōu)點(diǎn)是耐水解、耐老化、耐高溫、柔韌性高、抗菌。

六鋁四釩鈦 親水性

選擇常規(guī)水性冷膠可使子膜粘合可靠，二氧化鈦 親水性好的意義無(wú)需采用局部覆蓋、局部上光、面磨切線等工藝，也無(wú)需因紙板不同而更換不同的獨(dú)特膠粘劑。經(jīng)過(guò)真空等離子清洗機(jī)的表面處理，不僅可以增強(qiáng)其對(duì)于膠粘劑的實(shí)用性，而且不再依賴獨(dú)特的膠粘劑來(lái)實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的粘接。而且，增強(qiáng)了表層的鋪展性能，防止了氣泡。更重要的是，經(jīng)過(guò)真空等離子體處理后，聚丙烯材料生產(chǎn)企業(yè)可以以更低的成本和更高的效率獲得更多的質(zhì)量保證產(chǎn)品。。

不需要溶劑預(yù)處理·可使用所有塑料具有環(huán)保意義·占用少量工作空間低成本等離子體表面處理的效果可以簡(jiǎn)單地用水來(lái)驗(yàn)證，二氧化鈦 親水性好的意義處理后的樣品表面完全被水潤(rùn)濕。經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間等離子體處理（15分鐘以上），材料表面不僅被活化而且被刻蝕，刻蝕表面具有Z潤(rùn)濕能力。常用的處理氣體有：空氣、氧氣、氬氣、氬氫混合物、CF4等V.等離子涂層聚合在涂層中，兩種氣體同時(shí)進(jìn)入反應(yīng)室，氣體在等離子體環(huán)境中會(huì)聚。這種應(yīng)用比激活和清洗更嚴(yán)格。