1 高頻感應(yīng)等離子體發(fā)生器，拉開法附著力定心裝置又稱高頻等離子體炬，或稱射頻等離子體炬。它利用無電極的感應(yīng)耦合，把高頻電源的能量輸入到連續(xù)的氣流中進(jìn)行高頻放電。2 電弧等離子體發(fā)生器，又稱電弧等離子體炬，或稱等離子體噴槍，有時(shí)也稱電弧加熱器。它是一種能夠產(chǎn)生定向“低溫”（約 2000～20000開）等離子體射流的放電裝置。

主要過程包括:首先,工件清洗到真空室固定,啟動(dòng)真空泵和其他設(shè)備開始大約10 pa真空度的真空排氣;然后介紹等離子體清洗氣體進(jìn)入真空室(根據(jù)不同的清洗材料,氣體是不同的,如氧、氫、氬、氮、等),在真空室中，拉開法附著力定心裝置在電極與接地裝置之間施加高頻電壓，將氣體擊穿并通過輝光放電使其電離，產(chǎn)生等離子體。待真空室中產(chǎn)生的等離子體完全覆蓋被清洗工件后，開始清洗操作，清洗過程從幾十秒到幾分鐘不等。

在這個(gè)裝置中，拉開法附著力定心裝置兩個(gè)電極被放置在一個(gè)封閉的容器內(nèi)以形成一個(gè)電場(chǎng)，一個(gè)真空泵提供真空。隨著氣體越來越稀薄，分子結(jié)構(gòu)與分子結(jié)構(gòu)或離子自由運(yùn)動(dòng)的距離越來越大。它們?cè)陔妶?chǎng)的作用下與等離子體碰撞形成等離子體。它的活性非常高，能量轉(zhuǎn)換足以破壞幾乎所有的離子鍵，并且在暴露的表面上會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。在真空下，等離子體對(duì)工件表面進(jìn)行化學(xué)或物理處理，以去除分子結(jié)構(gòu)水平（通常為 3 至 30 納米厚）。

在電場(chǎng)的作用下，拉開法附著力試驗(yàn)儀器氣體中的自由電荷從電場(chǎng)中獲得能量，成為高能電子。這種高能電子與氣體中的大分子碰撞。如果電子的能量大于大分子或原子的刺激能量，就會(huì)產(chǎn)生刺激大分子或原子的自由基。等離子體表面處理中的活性粒子通常具有接近或超過碳或其他碳鍵的能量，因此它們可以隨著氣體或固體表面引入系統(tǒng)而產(chǎn)生化學(xué)或物理效應(yīng)。

拉開法附著力試驗(yàn)儀器

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其中，波的長度和能量對(duì)等離子體與物體表面的相互作用起著重要作用。1）原子團(tuán)等自由基與物體表面反應(yīng)。2）電子對(duì)物體表面的作用。3）離子對(duì)物體表面的作用。。真空等離子體表面處理設(shè)備，利用能量轉(zhuǎn)換技術(shù)將氣體轉(zhuǎn)化為高活性等離子體進(jìn)行處理，真空等離子體表面處理設(shè)備應(yīng)用優(yōu)勢(shì)，清洗時(shí)間可任意調(diào)節(jié)，適用于各種環(huán)境。

等離子體是由帶正電荷的正負(fù)粒子（包括正離子、負(fù)離子、電子、自由基及各種活性基團(tuán)等）組成的集合體，其中正負(fù)電荷電荷相等，故稱等離子體，是除固體、液體、氣體外物質(zhì)存在的第四種狀態(tài)--等離子體狀態(tài)。浩瀚宇宙中99%的物質(zhì)存在于等離子體中并展開等離子體能量改變了世界處于等離子體狀態(tài)的物質(zhì)具有很高且不穩(wěn)定的能級(jí)。

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