處理方法：用蘸有酒精或丙酮的干凈布（紙）清潔玻璃，咸陽(yáng)氧等離子體清洗機(jī)或直接更換真空玻璃。 3、真空泵使用的油是一種特殊的抗氧化油。及時(shí)更換有助于真空泵正常運(yùn)行，延長(zhǎng)泵體壽命。我們建議您每 3 個(gè)月更換一次。如果真空泵內(nèi)油量充足，觀察油位的警示表指示的油位低于使用下限（油位表旁邊有明顯標(biāo)記） 注入新油時(shí)間到正常的油耗。三、更換真空泵油的具體步驟： 1.打開(kāi)真空泵注油口的注油塞（六角扳手）。

1、真空室和真空系統(tǒng)固定在柜體框架上。機(jī)柜框架尺寸為1722X1060X1840。左右有可移動(dòng)的門(mén)，氧等離子體處理硅片背面有兩個(gè)相對(duì)的門(mén)。因此，內(nèi)部維護(hù)真空室和真空系統(tǒng)非常重要。方便的。真空室尺寸為600X600X600，可同時(shí)加工9層550X550尺寸的工件。真空室和真空閥固定在框架上。

此外，氧等離子體處理硅片如果必須保持氧氣的流動(dòng)，真空度越高，氧氣的相對(duì)比例就越高，產(chǎn)生的活性粒子濃度也越高。但是，如果真空度太高，活性粒子的濃度反而會(huì)降低。四、氧氣流量的調(diào)節(jié)：氧氣流量大，活性粒子密度大，脫膠速度加快，但流量過(guò)大，離子復(fù)合概率增加，電子平均自由程增加。運(yùn)動(dòng)會(huì)更短，電離強(qiáng)度也會(huì)降低。

當(dāng)樣品放入反應(yīng)室時(shí)，咸陽(yáng)氧等離子體清洗機(jī)真空泵啟動(dòng)真空泵到一定程度，接通電源產(chǎn)生等離子體，氣體通過(guò)反應(yīng)室內(nèi)的等離子體進(jìn)入反應(yīng)室，樣品并且易揮發(fā) 產(chǎn)生的副產(chǎn)品。它由真空泵提取。 1. 等離子體在宏觀上是電荷平衡的。通常，等離子體是電荷平衡的，但如果受到影響，等離子體內(nèi)會(huì)發(fā)生局部電荷分離，從而產(chǎn)生電場(chǎng)。

氧等離子體處理硅片

, 由各種梯度引起的漂移運(yùn)動(dòng)引起；由速度分布焦慮引起的損失錐不穩(wěn)定性；以及波間相互作用引起的參數(shù)不穩(wěn)定性。微觀不穩(wěn)定性理論是基于動(dòng)力學(xué)理論的。換句話說(shuō)，它是從 Vlasov 方程研究的。線性理論通常用于研究不穩(wěn)定性，它只能確定系統(tǒng)是否穩(wěn)定，并且在某些情況下可以給出不穩(wěn)定性在第一時(shí)刻的增長(zhǎng)率。如果在適當(dāng)?shù)臈l件下擾動(dòng)幅度增加并且演化趨于飽和，則應(yīng)使用非線性理論對(duì)其進(jìn)行研究。

咸陽(yáng)氧等離子體清洗機(jī)