首先，膩?zhàn)臃鄹街Σ钤趺粗嗡玫入x子體原理激活氣體分子。 O_2O + O + 2e-, O + O_2O_3, O_3O + O_2其次，O，O_3含氧官能團(tuán)的表面活化提高了材料的粘附性和潤濕性。反應(yīng)如下： R + O-RO R + O 2 ROO。柔性屏是柔性O(shè)LED屏幕。 2013年，韓國LG Display宣布開始量產(chǎn)第一塊柔性O(shè)LED面板。
等離子設(shè)備不清洗AlGaN表面比較經(jīng)過氧等離子體處理的樣品A和經(jīng)過氧等離子體處理的樣品B，膩?zhàn)臃鄹街Σ钤趺粗萎?dāng)Vgs = 2V，Vds = 10V / mm時(shí)，未經(jīng)氧等離子體處理的樣品A的飽和電流約為0.0687A / mm = 68.7mA，我理解這一點(diǎn)。當(dāng)Vgs=2V和Vds=10V時(shí)，樣品B經(jīng)過氧等離子體處理后的飽和電流增加到0.0747A/mm=74.7mA/mm。
其反應(yīng)可用下列方程描述：潘寧解離：M*+A2→2A+M潘寧電離：M* +A2→A+2+M+e電荷轉(zhuǎn)移：M++A2→A+2+M M-+A2→A-2+M 碰撞消除：M+A-2→M+A2+e 結(jié)合附著：A-+A→A2+e 離子-離子復(fù)合：M-+A-2→A2+MM-+A+2→2A+M電子-離子復(fù)合：e+A+2→2Ae+A+2+M→A2+M 原子復(fù)合：2A+M→A2+M 原子重組：A+BC→AB+C原子加成：A+BC+M→ABC+M 等離子體引發(fā)多相反應(yīng):在氣固等離子體中的多相反應(yīng)發(fā)生在氣相和固相之間，膩?zhàn)臃鄹街Σ钤趺椿厥略跉庖旱入x子體中的多相反應(yīng)發(fā)生在氣相和液相之間，也可能發(fā)生在氣液固三相之間。
（2）激活鍵能，膩?zhàn)臃鄹街Σ钤趺椿厥陆宦?lián)作用等離道子體中的粒子能量在 0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在 0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂，等離子體中的自由基中的這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，大大地激活了表面活性。
膩?zhàn)臃鄹街Σ钤趺粗?/strong>
在各種制造應(yīng)用中，這一原理可用于有選擇地修飾材料的表面性質(zhì)。利用等離子清洗機(jī)的能量對物體表面進(jìn)行處理，可以準(zhǔn)確、有針對性地提高材料表面的附著力和潤濕性。這樣便于在工業(yè)上使用新型（甚至完全非極性）材料，以及環(huán)保、無溶劑、無揮發(fā)性有機(jī)化合物的涂料膠粘劑。目前，許多化學(xué)表面處理工藝可以被等離子體處理技術(shù)所取代。
膩?zhàn)臃鄹街Σ钤趺椿厥?/strong>
