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表 3.9 不同刻蝕機側(cè)壁形貌寬度的差異WaferCDBottom-CDMiddle / nmICP EtcherCCP Etcher10.9220.52.530.31.7412.4512.260.60.3Average0.71.6 除了均勻性，頂損也是等離子清洗設(shè)備側(cè)壁刻蝕工藝中側(cè)壁刻蝕的重要參數(shù)。低頂部高度損失會影響多晶硅柵極的金屬化厚度并增加金屬柵極的電阻。
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該產(chǎn)品除擁有其它等離子清洗機的優(yōu)點外，廣東等離子清洗機設(shè)備更具有性能穩(wěn)定、性價比高、清洗效率高、操作簡便、使用成本極低、易于維護的優(yōu)點。產(chǎn)品能適應不同用戶對設(shè)備的特殊要求。清洗艙的材料有耐熱玻璃和不銹鋼可選擇，不銹鋼類清洗艙有圓形和方形可選擇。儀器性能、整機規(guī)格和清洗艙的尺寸可根據(jù)用戶的實際需要而定制。
那麼，廣東等離子清洗機設(shè)備以轎車鋰電池為比如，低溫等離子清潔液在動力鋰電池的出產(chǎn)制作進程中能夠扮演什么角色？ 您能出示哪些幫忙？ 在轎車動力鋰電池的出產(chǎn)制作進程中，等離子技術(shù)清洗設(shè)備的外表解決一般 從三個層面展開運用，即進步正負極板涂敷前陶瓷膜的潤滑性； 鋰電電焊焊接前連接片的整理； 及其鋰電池組件在外界粘膠曾經(jīng)改善絕緣板，端板，PET塑料薄膜和其他金屬復合資料及其絕緣層資料的外表粘合力。
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