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這一點(diǎn)對包裝的生產(chǎn)工藝有很大的影響。使用等離子設(shè)備可以很容易地通過污染分子級生產(chǎn)過程中所形成的清掉，確保原子與原子間緊密接觸工件外面的附著力，從而有效地增強(qiáng)粘接強(qiáng)度，可以改善晶片拼接水平，縮減泄漏率，增強(qiáng)包裝效能，增加產(chǎn)量和可靠性。 經(jīng)等離子清洗設(shè)備清洗后，物體的鍵合單元，結(jié)合強(qiáng)度上升。
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（3）四氟化碳參與反應(yīng)時(shí)會形成氫氟酸，廣東生產(chǎn)等離子清洗機(jī)腔體在線咨詢排出的廢氣為有害氣體，需做處理后排放。（4）運(yùn)用四氟化碳的plasma建議配防腐型的干式真空泵。。晶圓加工專用plasma設(shè)備表面處理中的應(yīng)用： 晶圓加工是國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中資金投入較大的一部分，plasma設(shè)備目前在硅片代工中應(yīng)用廣泛， 也有專用晶圓加工等離子體設(shè)備。 中國晶圓代工部分在整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上投入了大量資金。
