等離子清洗劑不僅能徹底去除光刻膠等有機(jī)物，表面活性位點(diǎn)的改性還能活化和增厚晶圓表面，提高晶圓表面的潤(rùn)濕性，提高晶圓表面的附著力。等離子清洗機(jī)解決了濕法剝離晶圓表面光刻膠的缺點(diǎn)，如反應(yīng)不準(zhǔn)確、清洗不徹底、容易引入雜質(zhì)等。等離子清潔劑不需要有機(jī)溶劑，不會(huì)污染環(huán)境。一種低成本、環(huán)保的清洗方法作為干洗等離子清洗機(jī)，可控性強(qiáng)，一致性好。它還激活和粗糙化晶片表面以提高潤(rùn)濕性。在晶圓表面。

實(shí)踐證明，表面活性位點(diǎn)的改性在封裝工藝中適當(dāng)?shù)匾氲入x子清洗技術(shù)進(jìn)行表面處理，利用COG等離子清洗機(jī)進(jìn)行前處理,可以大大改善封裝可靠性和提高成品率。在玻璃基板（LCD）上安裝裸芯片IC的COG工藝過(guò)程中，當(dāng)芯片粘接后進(jìn)行高溫硬化時(shí)，在粘結(jié)填料表面有基體鍍層成分析出的情況。還時(shí)有Ag漿料等連接劑溢出成分污染粘結(jié)填料。如果能在熱壓綁定工藝前用等離子清洗去除這些污染物，則熱壓綁定的質(zhì)量能夠大幅提升。

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如果通風(fēng)不良，表面改性化與表面活性化請(qǐng)安裝機(jī)械排氣系統(tǒng)。 (3) 沒(méi)有防止觸電、設(shè)備接地、電源線損壞、不隨時(shí)間老化的措施。。真空低溫等離子處理器技術(shù)為柔性材料提供了優(yōu)異的表面活化效果，可用于引線鍵合前的等離子清洗，提供更清潔的鍵合表面，為柔性材料提供表面活化功能，但去除過(guò)程均勻穩(wěn)定。真空低溫等離子處理器等離子處理一直被視為微電子和半導(dǎo)體封裝行業(yè)的重要工藝。

表面活性位點(diǎn)的改性

以移動(dòng)產(chǎn)品處理器芯片封裝基板為例，其線寬/線距為20m/20m，在未來(lái)2-3年內(nèi)將不斷縮減為15m/15m和10m/10m。。LED灌封是指根據(jù)需要將多個(gè)LED(發(fā)光二極管)用灌封膠固定或密封在一定的腔內(nèi)的過(guò)程。在灌封過(guò)程中容易出現(xiàn)漏膠、氣泡、表面粗糙等問(wèn)題。是在LED燈填充包裝后，成品出現(xiàn)大量氣泡，導(dǎo)致合格率只有30%左右。在調(diào)整抽真空時(shí)間和更換灌封材料的過(guò)程中，效果不是很好。

3、激(活)鍵能，交聯(lián)作用 等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV,因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，大大地激(活)了表面活性。 采用等離子清洗技術(shù)可以從塑料表面清(除)細(xì)微的灰塵粒子；由于添加劑的作用這種粒子一開(kāi)始會(huì)很牢固地附著在塑料表面。等離子體將使灰塵粒子完(全)脫離基材表面。

這些基礎(chǔ)設(shè)備裝備齊全后，即可進(jìn)入正常運(yùn)行狀態(tài)。使用等離子清洗機(jī)時(shí)，等離子表面處理時(shí)間越長(zhǎng)越好，但要注意等離子清洗機(jī)處理過(guò)的聚合物表面發(fā)生的交聯(lián)、化學(xué)改性、蝕刻等因素。主要原因是等離子體使聚合物表面分子斷裂鍵，產(chǎn)生大量自由基。隨著等離子體表面處理時(shí)間的增加和放電功率的增加，產(chǎn)生的自由基的強(qiáng)度增加，達(dá)到一個(gè)大點(diǎn)，然后進(jìn)入動(dòng)態(tài)平衡。當(dāng)排出壓力達(dá)到一定值時(shí)，強(qiáng)度自由基的百分比就顯得很大。

可在線纜噴碼前使用，可安裝在各種型號(hào)的自動(dòng)貼盒機(jī)上，標(biāo)志著印刷行業(yè)技術(shù)的飛躍，成為企業(yè)主節(jié)約生產(chǎn)成本的法寶。廣泛用于糊盒、糊盒、塑料、橡膠的表面改性，食品、果醬瓶的包裝粘接，醫(yī)用材料的表面處理等離子體表面治療儀是一種全新的技術(shù)，利用等離子體達(dá)到常規(guī)清洗方法無(wú)法達(dá)到的效果。

表面改性化與表面活性化

經(jīng)過(guò)等離子體處理后，表面改性化與表面活性化纖維表面導(dǎo)入極性基團(tuán)，C - F鍵相故障和體遷移，纖維表面O/C比增大，F(xiàn)/C比減小，纖維表面極性、表面能增大，并在蝕刻作用下纖維表面變得粗糙，導(dǎo)致表面潤(rùn)濕性的增加，在纖維表面與水的接觸角急劇下降。等離子體處理后，及時(shí)進(jìn)行涂層和粘結(jié)，保持改性效果。

等離子清洗系統(tǒng)的常見(jiàn)用途：噴涂手機(jī)外殼 如今，表面改性化與表面活性化由于消費(fèi)者對(duì)手機(jī)的個(gè)性化需求，手機(jī)廠商越來(lái)越重視手機(jī)的外形設(shè)計(jì)。其中，手機(jī)外觀的裝飾，尤其是外殼的裝飾，對(duì)手機(jī)的外觀影響很大。同時(shí)，為了保證手機(jī)的質(zhì)量，制造商需要使用符合硬度要求的合成塑料，但這種塑料的噴涂效果通常不足。為了解決這個(gè)問(wèn)題，可以先使用真空等離子清洗系統(tǒng)進(jìn)行等離子活化工藝。適用于該應(yīng)用的典型器件如上圖所示。