4.清洗完畢，離型膜電暈處理法切斷電源，通過(guò)真空泵抽走氣體和氣化的污物，清洗結(jié)束。真空等離子清洗機(jī)有很多優(yōu)點(diǎn)：如數(shù)控技術(shù)自動(dòng)化程度高；具有高精度控制裝置，時(shí)間控制精度高；正確的等離子清洗不會(huì)在表面產(chǎn)生損傷層，表面質(zhì)量能得到保證；清洗工作在真空環(huán)境下進(jìn)行，清洗過(guò)程環(huán)保（安全），不會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染，有效保證清洗面不會(huì)二次污染。。
根據(jù)外加電場(chǎng)頻率的不同，離型膜電暈處理法氣體放電可分為直流放電、低頻放電、高頻放電、微波放電等多種類型。直流(DC)放電由于其簡(jiǎn)單性至今仍被使用，尤其是對(duì)于工業(yè)大氣等離子體清洗裝置，可以發(fā)揮很大的功率。低頻放電的范圍一般為1~kHz，現(xiàn)在器件最常用的頻率為40kHz。目前在實(shí)驗(yàn)裝置和工藝設(shè)備中使用最多的是高頻放電裝置，其頻率范圍為10～MHz。
等離子體清洗/蝕刻技術(shù)是等離子體特殊性質(zhì)的具體應(yīng)用；等離子體清洗/蝕刻機(jī)的裝置是將兩個(gè)電極布置在密封的容器中形成電場(chǎng)，離型膜電暈機(jī)pet原膜除塵裝置用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度，隨著氣體越來(lái)越稀薄，分子之間的距離以及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離越來(lái)越長(zhǎng)，在電場(chǎng)的作用下，碰撞形成等離子體，這些離子具有很高的活性，其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵，在任何暴露的表面上引起化學(xué)反應(yīng)。不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性質(zhì)。
即使在氧氣或氮?dú)獾确腔钚詺夥罩?，離型膜電暈機(jī)pet原膜除塵裝置等離子體處理在低溫下仍能產(chǎn)生高活性基團(tuán)。在這一過(guò)程中，等離子體還會(huì)發(fā)射高能紫外線，與產(chǎn)生的快離子和電子一起，提供打破聚合物鍵合鍵所需的能量，產(chǎn)生表面化學(xué)反應(yīng)。只有材料表面的幾個(gè)原子層參與這一化學(xué)過(guò)程，聚合物的本體性質(zhì)才能保持不變。選擇合適的反應(yīng)氣體和工藝參數(shù)可以促進(jìn)特定的反應(yīng)，形成不尋常的聚合物附著和結(jié)構(gòu)。。
離型膜電暈處理法
實(shí)驗(yàn)表明，在晶圓生產(chǎn)光敏樹(shù)脂帶的過(guò)程中，使用微波等離子體表面處理儀器不會(huì)對(duì)腔體和腔門(mén)產(chǎn)生氧化損傷反應(yīng)，被清洗物體的表面物質(zhì)會(huì)變成顆粒和氣體物質(zhì)，并將其抽空，達(dá)到清洗的目的。微波放電是化學(xué)鍍放電，防止了濺射造成的污染，因此可以獲得密度更高的均勻純凈等離子體。適用于高純度物質(zhì)的制備和處理，具有較高的技術(shù)效率。通過(guò)操作控制系統(tǒng)設(shè)置技術(shù)參數(shù)，控制微波電離的強(qiáng)度和密度，以整合清洗件的不同技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。
在拉拔轉(zhuǎn)印過(guò)程中，粘貼干膜的印刷電路板通過(guò)曝光后，需要進(jìn)行固定蝕刻，去除未被濕膜保護(hù)的區(qū)域，用顯影液對(duì)未曝光的濕膜進(jìn)行蝕刻，使未曝光的濕膜被蝕刻掉。在這類定影過(guò)程中，由于定影筒噴嘴壓力不均勻，導(dǎo)致局部未曝光程度的濕膜未完全溶解，形成殘留物。在細(xì)線生產(chǎn)中，更容易出現(xiàn)這種情況，刻蝕后會(huì)造成短路。等離子體處理能很好地去除濕膜殘留物。
對(duì)于形狀復(fù)雜的襯底，如表面有小的有效溝槽或螺紋，在復(fù)雜形狀附近等離子體參數(shù)的分布會(huì)有所不同，導(dǎo)致其周?chē)妶?chǎng)發(fā)生變化，進(jìn)而改變?cè)搮^(qū)域的離子濃度和離子轟擊能量。如果采用常規(guī)等離子體滲氮，鞘層中的離子碰撞會(huì)更加頻繁，導(dǎo)致離子的能量下降（低），因此難以激發(fā)（活化）氧化物較多的金屬表面，如不銹鋼。這種復(fù)雜的襯底形狀也會(huì)導(dǎo)致區(qū)域溫度過(guò)熱，氮化特性也會(huì)有別于其他襯底。
由表3-3可知，C2H6和CO2的轉(zhuǎn)化率分別為33.8%和22.7%，C2H4和C2H2的總收率為12.7%。負(fù)載型稀土氧化物催化劑(La2O3/Y-Al2O3和CeO2/Y-Al2O3)引入反應(yīng)體系后，C2H6的轉(zhuǎn)化率、C2H4的選擇性和產(chǎn)率、C2H2的選擇性和產(chǎn)率均有所提高，而CO2的轉(zhuǎn)化率略有下降。
離型膜電暈機(jī)pet原膜除塵裝置
