在適當(dāng)?shù)墓に嚄l件下對(duì)PE、PP、PVF2、LDPE等材料進(jìn)行冷等離子處理,等離子體在電場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)可以顯著改變?nèi)庋垡话悴豢梢姷牟牧媳砻嫘蚊?。化學(xué)品屬于納米級(jí),引入各種含氧基團(tuán),表面由非極性變?yōu)榉菢O性再到特定極性,易于粘附,親水。這是材料的粘合、涂層和印刷。該方法具有工藝簡單、操作方便、處理速度快、處理效果好、環(huán)境污染低、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。等離子技術(shù)可以提高塑料零件的潤濕率,提高其性能。等離子表面處理技術(shù)采用在線集成方式。
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國內(nèi)從事GaN外延片的廠商主要有三安光電、賽微電子、海陸重工、晶展半導(dǎo)體、江蘇能華和英諾賽科。從事氮化鎵器件的廠商主要有三安光電、聞泰科技、賽維電子、聚燦光電和贛照光電。 GAN技術(shù)的難點(diǎn)在于晶圓制備工藝,歐美日在這方面優(yōu)勢(shì)明顯。由于熔化 GAN 晶體所需的氣體壓力非常高,因此使用外延技術(shù)來生長 GAN 晶體并制備晶片。其中,日本住友電工是全球最大的 GAN 晶圓制造商,占據(jù) 90% 以上的市場(chǎng)份額。
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在這個(gè)裝置中,兩個(gè)電極被放置在一個(gè)封閉的容器內(nèi)以形成一個(gè)電場(chǎng),一個(gè)真空泵提供真空。隨著氣體越來越稀薄,分子結(jié)構(gòu)與分子結(jié)構(gòu)或離子自由運(yùn)動(dòng)的距離越來越大。它們?cè)陔妶?chǎng)的作用下與等離子體碰撞形成等離子體。它的活性非常高,能量轉(zhuǎn)換足以破壞幾乎所有的離子鍵,并且在暴露的表面上會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。在真空下,等離子體對(duì)工件表面進(jìn)行化學(xué)或物理處理,以去除分子結(jié)構(gòu)水平(通常為 3 至 30 納米厚)。
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