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2. 等離子蝕刻材料的處理在等離子刻蝕過(guò)程中,被刻蝕的物體在處理氣體的作用下變成氣相(例如,使用氟氣刻蝕硅時(shí),如下圖所示)。工藝氣體和基體材料由真空泵抽出,表面不斷被新工藝氣體覆蓋。不希望蝕刻部分被材料覆蓋(例如,半導(dǎo)體工業(yè)使用鉻作為涂層材料)。等離子法也用于蝕刻塑料表面,填充混合物可以被氧氣焚燒。, 同時(shí)得到分布分析。蝕刻方法作為印刷和粘合塑料(如 POM、PPS 和 PTFE)的預(yù)處理非常重要。

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